產品說明
專利庫倫力型靜電吸盤經歷長期研發改進和驗證，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
先進的開發技術更使靜電吸盤為自由移動之載具，可提供形狀或硬度補強。專利庫倫力型靜電吸盤是許多工程上輕薄軟物件、真空環境中的理想吸附工具。
■ 主要吸附應用
(1) 超大尺寸平板玻璃。
(2) 半導體薄化晶圓。
(3) 翹曲晶圓。
(4) Move–Free形狀補強載具，如: 4〝Wafer–on–6〝E–Chuck。
(5) 軟性銅箔。
(6) 曲面玻璃。
(7) 無邊框螢幕。
(8) 真空貼合。
■ 產品特色
(1) 本靜電吸盤經歷長期研發改進和驗證，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
(2) 雙極性庫倫力型靜電吸盤。對象物不須施以偏壓，對象物的背部的電位為零，所以不影響背部的電子迴路。
(3) 以電極裡印加電壓的方式實現安定吸附。
(4) 在庫倫力型靜電吸盤中以最低的印加電壓發揮最大吸引力的電子吸盤。
(5) 可吸附多種材質和多孔隙材料：金屬/半導體/玻璃/紙張/絕緣體/多孔隙材料等。
(6) 在真空環境或一般大氣環境均可使用。
(7) 可定義吸附區及非吸附區，非吸附區可以供其他功能使用。
(8) 可使用不同基底材質(如:不銹鋼，鋁板，半導體晶圓，玻璃，陶瓷)。
(9) 可客制化成多樣尺寸形狀厚度供客戶使用。
(10) 無線吸盤經過吸附後，可電源斷開分離，自由移動做托盤載具應用。