本裝置可同時觀察高倍率及低倍率之試片表面影像，可用低倍率尋找觀察點，同時用高倍率來顯示觀察異物。高低倍率畫像CCD獨立操作、可使用彩色CCD或黑白CCD、影像也可套用到尺寸量測軟體系統上做計算。畫像感測器可選擇：可見光CCD與紅外線CCD同時觀察、或可見光與螢光畫像同時觀察。可外加光源(選購)：如螢光、光纖光源照射觀察、雷射光源修補系統。