1.三軸空氣軸承。2.三軸及量測平臺均為花崗岩材質，膨脹係數相同，幾何結構穩定，可保持長時間之高幾 何精度。3.X軸，Z軸均以花崗岩中空近方型設計，重量輕、剛性佳，運動幾何變形小。4.各主要零組件精度要求至0級或00級，幾何精度高，不需補償。5.預壓空氣軸承，可得較佳之動態剛性級叫小之空氣間隙3um以下。6.封閉式導軌設計，不易受汙染、損傷。7.Z軸有平衡設計，防止Z軸掉落。