LMSP 型式規格一、特徵LMSP平面伺服馬達1.閉迴路控制2.自動對齊動子方向3.自動歸原點4.失步自動偵測二、應用1.半導體設備2.自動化搬送3.FPD設備4.太陽能製造設備5.PCB設備6.水刀設備7.鑽石切割產業8.AOI檢測設備9.工具機