LMX2E 型式規格一、特徵1.直線度可達10um2.X軸最大6m Y軸0.5m行程3.以線性滑軌架構之定位平台4.良好接地設計防止雜訊干擾5.Z向震動可達奈米等級以下6.最大速度可達5m/s7.標準重現精度1um或以下8.位置回饋系統解析度最低可達50nm二、應用1.半導體設備2.自動化搬送3.FPD設備4.太陽能製造設備5.PCB設備6.水刀設備7.鑽石切割產業8.AOI檢測設備9.工具機