LMG2A 型式規格一、特徵1.最大行程4m x 4m2.以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平台3.良好接地設計防止雜訊干擾4.Z向震動可達奈米等級以下5.最大速度可達5m/s6.標準重現精度1um或以下7.位置回饋系統解析度最低可達50nm二、應用1.半導體設備2.自動化搬送3.FPD設備4.太陽能製造設備5.PCB設備6.水刀設備7.鑽石切割產業8.AOI檢測設備9.工具機