設備產品:水洗式廢氣處理機產品特色:1.SEMI–S2 認證。 2.低成本。 3.擁有多段高溶解效率的灑水系統。 4.彩色液晶螢幕顯示控制器。 5.獨立的 Inlet 和 Outlet 壓力表頭。 6.快速維修保養完成。 7.設有多項偵測器,包含:水位、壓力錶 … 等。