功能適用於太陽能電池製程,對太陽能矽晶片之邊緣做蝕刻特色.專利設計之特殊電漿電極.高密度電漿源.處理速度快、產能高、可靠度高.操作範圍廣.設備穩定度高,容易維護.全自動且容易操作.可依客戶需求作更改應用產業.太陽能電池.太陽能矽晶片邊緣做蝕刻