產品說明
產品特色
體積小，防震佳，不受場地限制
All in One System (SEM +ED S元素分析)
速度快，送入樣品到SEM 成像僅需30秒
電子顯微鏡放大倍率80x~100,000x
解析度 17nm
全程自動化樣品台操作更具備樣品導航功能
獨有的光學鏡頭設計，放大倍率20x~120x
自動對焦，自動調整亮度與明暗對比
長效型高亮度高解析的C eB 6燈絲源(非一般鎢燈絲)，減低後續維修保養的時間
高感度的背散射偵測器（組成像和表面形貌兩種模式）
特殊樣品台設計，樣品不需鍍金直接觀看
真空系統：薄膜幫浦, TM P (無油式真空系統)
ED S免加液態氮
操作簡易，人員學習30分鐘即可操作
主機重量50Kg