布魯克斯型號5850E彈性體密封熱質式流量控制器在3 – 30,000 slpm（氮氣為標準）的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下，布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。