顯微鏡︰DIN Standard Objectives2. 光源︰超高亮度白光 LED ＞1.5mW 光輸出功率3. 聚焦控制之Z軸行程︰2”4. 聚焦控制之解析度︰＜ 0.1 μm5. 聚焦控制之再現性︰＜ 0.5 μm6. XY軸行程︰100 mm x 100 mm7. XY軸解析度︰0.083μm8. XY 軸 RMS再現性︰＜ 0.4 μm9. XY 軸最大運動速率︰7 mm/sec