功能適用於太陽能電池製程，對太陽能矽晶片之邊緣做蝕刻特色．專利設計之特殊電漿電極．高密度電漿源．處理速度快、產能高、可靠度高．操作範圍廣．設備穩定度高，容易維護．全自動且容易操作．可依客戶需求作更改應用產業．太陽能電池．太陽能矽晶片邊緣做蝕刻