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真空鍍膜設備PVD系統

馗鼎奈米科技股份有限公司


聯絡人:梁雅娟
電話:(06)2323927
傳真:(06)2013306
地址:台南市永康區亞太工業區中正路279巷21弄59號
網址:http://www.creating-nanotech.com
Email:skycat@creating-nanotech.com



產品資訊

產品說明

產品特色
奈米複合硬質塗層設備
採陰極電弧鍍膜技術,可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源
圓形靶靶材利用率高
真空零配件均採進口元件
特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)
系統採夾層式水路冷卻;八邊形不鏽鋼腔體
搭載4 組Heater,可均勻升溫至450℃
搭載超高真空渦輪幫浦
8軸3層公自轉機構,產能大且膜層均勻
置具台車方便Loading /Unloading生產,提供生產效率
全自動化鍍膜生產,可遠端網路診斷及程式除錯
可鍍膜種類:TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…

應用產業
銑削、車削、鑽孔、攻牙之刀工具
成型、沖壓之模具

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