亞樹Sputter采連續(In–line)生產,具有高產量之特性,尚有以下優點: 1.維修容易設備維護成本低,時間短。 2.大面積鍍膜均勻性高(<±5%)。 3.靶材利用率高(>40%)。 4.可廣泛應於光學抗反射膜,金屬薄膜之鍍制。 5.多磁控源選擇 –金屬磁控源 –ITO磁控源 –AZO磁控源 –RF磁控源