● 在惡劣環境中，具有優秀耐酸(包括氟酸)、耐鹼性、耐有機物質之特性● 減少不純物廢氣的釋出量(硼、鉀、矽等) ；無金屬污染物● 高效率及低壓損；0.3µm或0.1µm ~0.2µm可達到99.99~99.999995以上之高效率● 較強的抗損壞性● 降低能源消耗● 節省空間及減輕重量