功能可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等特色．高密度電漿源，電漿效率高，減少製程時間．專利設計之特殊電漿電極．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計．處理之均勻性佳．電漿均勻性佳．可使用多種製程氣體．全自動且容易操作．設備穩定高，容易維護．可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台應用產業．PCB、FPC ．印刷或黏著前之表面粗化或清潔