半導體檢測機 200mm / 300mm 晶圓、FPD 金相顯微鏡 大型載物台搭載：可用於400x300 mm 液晶面板、300mm晶圓全範圍檢驗 採用高NA的透射光聚光鏡,影像更銳利 多種觀察模式,多種光源搭配,滿足不同應用需求