檢測功能：微小樣品之反射率、穿透率、膜厚及色差適用波長：400–900nm檢測速度：1–3秒取樣點直徑：10um – 1mm視野直徑：＞300um光源：100W 鹵素燈源兩組移動平台：20cm×20 cm 電動XY平台(可改用手動平台)軟體：FilmSmart software適用樣品：光學鍍膜(如SiO2, NOx, ITO, ZnO, CuO 等on玻璃、壓克力、PET and Silicon wafer)、GaN on Sapphire、彩色濾光片等。