產品說明
設備產品：電熱水洗式廢氣處理機
產品特色：
1.工研院 SEMI S2 之相關安全認證。
2.水溫偵測感應系統。
3.低耗水量之專利設計。
4.智慧型電子控制系統。
5.設有雙馬達排水系統。
6.作業溫度 850 度，有效處理廢氣。
7.智慧型線上故障排除系統。
8.廣泛使用在 CVD,ETCH,Diffusion,Solar cell 等製程。
9.超精密之安全機制在機台各個重點位置皆有安裝即時 ON–Line 訊號點。
10.人性化機台之操作設計保護相關工作人員之安全性及便利性。
11.榮獲全球專利之水幕式反應腔體，可避免腔體粉塵阻塞及腐蝕。
12.保養維護的週期長，定期巡檢的時間約 0.5~1小時，不影響製程。