亞樹自製 PECVD具有占地面積小，較低粉塵產生機率之優點，另以獨有的電磁技術，在提高鍍 膜速率之外尚可維持設備之穩定性，鍍膜品質亦由已量產之電池產品得到驗證。 具有單腔多種制程，單腔多片生產等特點，可讓客戶以最低成本購得整線中最關鍵設備。 獨有的腔體自潔技術，可節省腔體保養時間與成本。 大型PECVD，除了可應用於鍍製矽膜外，尚可廣泛應用于各種傳統產業與新興面板產業，如半導體薄膜製造包含觸控薄膜之鍍製。