高品質的加工需搭配更高品質的量測,基於這個原則,廠內使用的量測設備為TaylHobson Form Talysurf 表面輪廓儀。其精度可達0.1um以下,重現精度更可達0.02um以下。除了表面輪廓儀外,還有其他檢測設備可以確保品質,如精相顯微鏡,放大倍率可以達到2000倍。雷射投影機採遮蔽式量測方式,精度可達0.4um 。