光學系統設計： LED 環形上燈源系統 / 百萬畫像素高階彩 色攝影機系統光學自動對位，提高量測準 確度精確、快速的定位運動系統： 高階伺服馬達 / 螺桿傳動設計，載台移動 快速且定位準確 開放式資料系統： 開放式系統設定，依外部輸入標準自動判 定OK / NG量測準確度 ± 1 Pixel ± 6μm 1 X