產品說明
• 高度潔淨的機體結構搭配縮減機構內的表面區域，並削除死角以在使用氣體清潔之後能加速乾燥
• 氣流通道管路表面高潔淨度處理
• 表面平均粗糙度達到每英寸10μ
• 獨立維護與診斷的連接埠提供在機台上第一時間疑難排解且確認製程過程與優化
• 智慧型LCD液晶瑩幕可顯示流量（％）和溫度（℃）
• 可選擇類比與RS–485，類比0–5 VDC與數位DeviceNet™ 的通訊介面
• 可依據使用者需求，設定需要的流體和流量
• 多重氣體與流量之調整功能可在實際的製程中提供一定的精準度
• 以3:1的比例來改變全流量的範圍以優化製程並可提供彈性的庫存管理
• 提供數百種氣體與混合氣體的選擇