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燃燒水洗式廢氣處理機

東服企業(半導體廢氣處理設備)


聯絡人:王副理
電話:(03)5511899
傳真:(03)5510808
地址:新竹縣竹北市博愛街805巷8號
網址:http://www.osc-tw.com



產品資訊

  • 分類:
    廢氣處理設施

產品說明

設備產品:燃燒水洗式廢氣處理機

產品特色:
1.工作溫度高達 1350 度,有效處理PFC、Gas。
2.遠端監控系統,隨時掌握機台狀況。
3.機台多使用循環水,用水量相當節省。
4.雙壓力計,監測進口壓力與出口壓力。
5.LCD 觸控式螢幕,具中英文介面,人性化操作。
6.雙腔體各自獨力的控制系統,可自動by pass。
7.反應腔體有特殊防阻塞、PFA 抗腐蝕之設計,能延長機台PM週期,縮短PM 時間。
8.電路人機介面 PLC 控制系統,具 99.9 %的穩定性及準確性,維修亦簡單迅速。
9.具 SEMI 認證, interlock 、即時警報、故障排除…等安全機制。

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