功能真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器，控制器可供應蝶閥電源與壓力計電源，節省系統與蝶閥間複雜的配線，另外真空蝶閥除具備蝶閥開合度調節壓力外，更首創加入流量控制器的操作來調節壓力，可比一般外購蝶閥更容易穩定系統壓力特色．ISO63~ ISO160管徑．具備壓力與角度控制模式．具備蝶閥本體與控制器．內部提供壓力計電源．可操作流量控制器調節壓力．具備壓力異常警告應用產業．鍍膜產業．光電半導體產業．相關真空製程領域